ȸ»ç¼Ò°³
* »ý»êÁ¦Ç°(¼ºñ½º¼Ò°³)
¿øÃ»È¸»çÀÎ (ÁÖ)È¿¼º NEOCHECM PU ¿ë¿¬°øÀå°ú ÀüÇØÁ¶º¸¼ö ¿ë¿ª°è¾àÀ» ü°áÇÏ°í ¿ë¿¬3°øÀå³» NF3(»ïºÒÈÁú¼Ò) Gas Á¦Á¶°øÀå³»
Àü±âºÐÇØÁ¶ ¼³ºñº¸¼ö ¹× Á¤ºñ¾÷À» Çϰí ÀÖ´Â ¼Ò»çÀåÁ¦ ÇüÅ·Π¿î¿µµÇ°í ÀÖ´Â »ç¾÷Àå ÀÓ
»ç¾÷ÀåÀÇ Æ¯Â¡Àº ÀüÇØÁ¶ º¸¼öÀÛ¾÷ÀÌ ÁÖ±âÀûÀÌ°í ¿¬¼ÓÀûÀ¸·Î ÁøÇàµÇ±â ¶§¹®¿¡ Àå±â±Ù¼ÓÀÌ °¡´ÉÇÏ¸ç ´ëºÎºÐÀÇ ÀÛ¾÷ÀÌ ¿Á³»¿¡¼
ÀÌ·ç¾îÁö´Â ÀÛ¾÷À̱⠶§¹®¿¡ µ¿Àý±â¿¡ ½Ç³» ±â¿ÂÀÌ µû¶æÇÏ¿© ÀÛ¾÷Çϱ⿡ ÁÁÀº Á¶°Ç ÀÓ.
ÀÛ¾÷³»¿ëÀº ÀüÇØÁ¶ ¼³ºñÀÇ ÇØÃ¼ Á¶¸³ÀÛ¾÷ÀÌ ÁÖ¿ä ÀÛ¾÷À̸ç, Ưº°ÇÑ ±â¼úÀ̳ª ±â´É,°æ·ÂÀÌ ¿ä±¸µÇ´Â ÀÛ¾÷Àº ¾Æ´Ï¸ç
´ÜÁö µ¶¼º°¡½º Ãë±Þ¼³ºñÀÎ ÀüÇØÁ¶ ÀåÄ¡ÀÇ Æ¯¼º»ó ¾ÈÀüÀ» À§ÇÏ¿© ¹æµ¶¸é°ú ÈÇг»»êº¹À» Âø¿ëÇϰí ÀÛ¾÷À» ¼öÇàÇØ¾ß ÇÏ´Â
¾î·Á¿òÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù.(ÇÏ·ç 8½Ã°£ ÀÛ¾÷Áß¿¡¼ 1~2½Ã°£ Á¤µµ Âø¿ë ÇÔ)
* ºñÀü
ÀÏÀ» ÅëÇÏ¿© »îÀÇ º¸¶÷À» ã°í ÃÖ°íÀÇ ÇູÀ» ´©¸°´Ù.
¿¬Çõ
2015³â 11¿ù 1ÀÏ »ç¾÷ÀÚ µî·Ï½Å°í (»óÈ£ : ½ÅÁø»ê¾÷ ¾÷Å : Á¦Á¶¾÷ Á¾¸ñ : ¼Ò»çÀåÁ¦)