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´ç»ç´Â ¹ÝµµÃ¼ ÁõÂø ±â¼ú µîÀÇ Á¦Á¶ °øÁ¤ÀÌ È°¿ëµÇ´Â ¹ÝµµÃ¼, µð½ºÇ÷¹ÀÌ, LED ¹× ž籤 Á¦Á¶ »ê¾÷¿¡¼ ¹ß»ýÇÏ´Â Áö±¸¿Â³È °¡½º ¹× À¯Çذ¡½º¸¦ Àú°¨ÇÏ´Â Scrubber¸¦ Á¦Á¶Çϰí ÀÖÀ¸¸ç, ÇöóÁ ±â¼úÀ» Scrubber¿¡ ¼± µµÀÔ ¹×
ÀÀ¿ëÇÏ¿© °úºÒÈ ¼ö¼Ò¿Í °°Àº Áö±¸ ¿Â³È¿¡ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡´Â °¡½º¸¦ Ÿ»ç¿Í Â÷º°¼ºÀ» °¡Áø ³»±¸¼ºÀÌ °ÇÑ ÇöóÁ ÅäÄ¡·Î È¿°úÀûÀ¸·Î Á¦°ÅÇÏ´Â ±â¼úÀ» º¸À¯ÇÏ¿© ±× ±â¼úÀ» ÈĹßÁÖÀÚÀÓ¿¡µµ ºÒ±¸ÇÏ°í ±¹³»»Ó ¾Æ´Ï¶ó Áß±¹ µîÁö¿¡¼ ±â¼úÀ» ÀÎÁ¤¹Þ¾Æ ¸ÅÃâÀ» âÃâÇϰí ÀÖ½À´Ï´Ù. 2018³â °æ±âµµ À¯¸ÁÁß¼Ò±â¾÷ ¹× ÀÏÀÚ¸®¿ì¼ö±â¾÷¿¡ ¼±Á¤µÇ¾ú°í, 2020³â¿¡´Â û³âģȰ¼Ò±â¾÷À¸·Î ¼±Á¤µÈ ưưÇÑ È¸»çÀÔ´Ï´Ù.
¿¬Çõ
2005. 04 (ÁÖ) ´ºÇÁ·ÎÅ×Å© ¼³¸³
2007. 12 Scrubber »ç¾÷ °³½Ã(Plasma, Heater, Wet, Dry)
2008. 03 º¥Ã³ ±â¾÷ ÀÎÁõ ¹× ±â¾÷ºÎ¼³ ¿¬±¸¼Ò ¼³¸³
2009. 06 ÁÖ¼º Eng ZONE PV Scrubber ¼öÃâ
2010. 05 »ï¼º LED MOCVD SCRUBBER Á¤½Ä ¼öÁÖ
2010. 06 »ï¼º LCD ¿Á»ó ´ë¿ë·® ¹é¿¬ Á¦°Å ÀåÄ¡ ¼öÁÖ(500CMM)
2010. 10 3E LED MOCVD SCRUBBER ¼öÁÖ
2011. 10 »ï¼º LCD(ÅÁÁ¤) Plasma Scrubber ¼öÁÖ
2012. 02 ´ë¸¸ TSMC MOCVD SCRUBBER ¼öÁÖ
2013. 03 »ï¼º LCD ¿Á»ó ´ë¿ë·® ¹é¿¬ Á¦°Å ÀåÄ¡ ¼öÁÖ(650CMM)
2013. 05 GnBS EngineeringÀ¸·Î »ç¸í º¯°æ
2013. 06 ±â°è¼³ºñ ¼³Ä¡ °Ç¼³¾÷ ¸éÇã Ãëµæ
2014. 08 GSÆÄ¿ö ¹é¿¬Àú°¨¼³ºñ ¼öÁÖ
2014. 09 ¼¼Á¾Ãµ¿¬°¡½º¹ßÀü¼Ò ¹é¿¬Àú°¨¼³ºñ ¼öÁÖ
2015. 05 Áß±¹ CSOT»ç Plasma scrubber ¼öÁÖ
2017.12 5¹é¸¸ºÒ ¼öÃâž ¼ö»ó
2017.12 SK-HYNIX-WPR Á¤½Ä¼öÁÖ
2018.01 SK_hynix HDP °øÁ¤ WLS Demo ½ÃÀÛ
2018.04 SK_hynix ¹«Æó¼ö Plasma Scrubber 64´ë ³³Ç°.
2018.11 °æ±âµµ ÀÏÀÚ¸® ¿ì¼ö±â¾÷ ¼±Á¤
2018.11 °æ±âµµ À¯¸ÁÁß¼Ò±â¾÷ ¼±Á¤
2018.12 õ¸¸ºÒ ¼öÃâž ¼ö»ó
2019.10 sk hynix ǰÁú´ë»ó ¼ö»ó
2019.12 ¾È¾ç gsÆÄ¿ö ph2 ÇöóÁ ¹é¿¬Á¦°Å¼³ºñ ¼öÁÖ
2020.01 û³âģȰ¼Ò±â¾÷ ¼±Á¤