연혁
- 2000.4 법인 설립
- 2000.11 300mm Cluster Tool 개발 완료
- 2001.2 300mm Platform 판매 개시
- 2001.4 중소기업청, 벤처 기업 등록
- 2001.8 기업부설연구소 등록
- 2001.9 300mm Cluster Tool 양산 장비용 공급 개시
- 2002.5 200mm Cluster Tool 양산 장비용 공급 개시
- 2002.7 중소기업청, INNO-BIZ 업체로 선정
- 2002.7 중소기업혁신과제 개발 기업체로 선정
- 2002.11 산업자원부, 부품/소재 기술 개발 기업체로 선정
- 2003.5 ISO 9001 인증획득
- 2003.8 경기도 유망 중소기업 선정
- 2003.8 수출 유망 중소기업 선정
- 2004.2 유기 EL 장비 개발 및 공급
- 2004.9 삼성전자 생기연 협력사 등록 및 판매개시
- 2004.11 산업자원부, 부품.소재 전문기업 확인서 취득
- 2005.4 산업자원부, 4세대 OLED 장비 개발과제업체 선정
- 2006.8 동양창업투자 지분참여
- 2006.12 사옥신축(경기도 평택)
- 2007.11 한국정밀산업기술대회 한국산업기술시험원장상 수여