2012.02 설립
2013.08 유상증자
2013.09 삼성전자향 플라즈마 전처리장치 최초 매출 발생 및 양산개시
2014.01 10-1352164특허 등록
2014.04 벤처기업인증/부설연구소 설립
2015.11 SK Hynix High K Process PPS PT Series Sales
2017.12 신제품 개발 - PPS Plus Lunching
2018.10 신제품 개발 - APS lunching
2019.06 오산 세마 DD 캠퍼스 사업장 이전
2019.07 (주)엘오티씨이에스 법인명 변경
2020.07 SEC - APS Qual
2021.03 신제품 개발 - RPS lunching
2022.01 (주)주영 인수
2022.06 SK Hynix - PPS Plus Qual & Sales
2023.01 (주)주영 합병
2023.02 LOTCES 삼성 협력 업체 등록
2023.08 신제품 개발 - CPS lunching
2023.10 SEC - RPS Qual & Sales
2024.05 SEC - PPS Plus Qual & Sales
