(ÁÖ)¿¡½º¿¡ÀÌÄ¡¾ÚÀº ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤¿¡¼ »ç¿ëµÇ´Â ½Ç¸®ÄܼÒÀç °¡°ø Àü¹®±â¾÷À¸·Î 2015³â¿¡ ¼³¸³µÇ¾î, ±× µ¿¾È ±Þ¼ÓÇÑ ¼ºÀåÀ» ÀÌ·ç¾úÀ¸¸ç, ¹ÝµµÃ¼ ÇÙ½É Á¦Á¶ÀåºñÀÎ Dry Etcher¿ë ½Ç¸®ÄÜ(Si) ¼ÒÀçÀÇ ÀÏ·ºÆ®·Îµå(Electrode)¿Í ¸µ(Ring) °¡°øºÐ¾ß¿¡¼ ±Û·Î¹ú °æÀï·ÂÀ» °ÈÇϰí ÀÖ½À´Ï´Ù. ±¹³»°í°´ ,Áß±¹ ¹ÝµµÃ¼ °í°´¿¡ 2020³â ºÎÅÍ ¼öÃâÀ» ÁøÇàÇÏ¿´°í, ¼¼°è °¢±¹ ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå¿¡ ÁøÀÔÇÏ¿© º¸´Ù ¸¹Àº Á¦Ç°À» ¼öÃâÇÒ °èȹÀÔ´Ï´Ù. ²÷ÀÓ¾ø´Â ±â¼ú Çõ½Å°ú ¹Ì·¡ Áغñ, Â÷º°ÈµÈ ½ÇÀûÀ¸·Î ¸ÅÃ⼺ÀåÀ» ÀÌ·ç°íÀÚ (ÁÖ)¿¡½º¿¡ÀÌÄ¡¾Ú°ú ÇÔ²² ±Û·Î¹ú ±â¾÷À¸·Î ¼ºÀåÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÀÎÀ縦 ã½À´Ï´Ù. ¸¹ÀºÁö¿ø ºÎʵ右´Ï´Ù.
µ¿ÀÏ ±â¾÷ÀÌ¶óµµ Å¸Áö¿ª ä¿ëÀÇ °æ¿ì, ȸ»ç ÁÖ¼Ò¿Í Àα٠ÁöÇÏö Á¤º¸°¡ »óÀÌÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.