ȸ»ç¼Ò°³
¾È³çÇϽʴϱî. Çϳª¸ÓƼ¸®¾óÁî(ÁÖ) ȨÆäÀÌÁö¸¦ ¹æ¹®ÇØ ÁֽŠ°í°´, ÁÖÁÖ ¿©·¯ºÐ²² Áø½ÉÀ¸·Î °¨»ç µå¸³´Ï´Ù. Çϳª¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â 2007³â ¼³¸³µÈ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤ÀÇ ±¸Á¶±â´É¼º ¼ÒÀç ¹× ºÎǰ Àü¹®±â¾÷ ÀÔ´Ï´Ù. ´ç»ç´Â ¹ÝµµÃ¼ ÇÙ½É Á¦Á¶ ÀåºñÀÎ Dry-Etcher¿ë ½Ç¸®ÄÜ(Si)°ú ½Ç¸®ÄÜ Ä«¹ÙÀ̵å(SiC) ¼ÒÀçÀÇ ÀÏ·ºÆ®·Îµå(Electrode), ¸µ(Ring)°ú ÆÄÀμ¼¶ó¹Í ºÎǰ ºÐ¾ß¿¡¼ °æÀï·ÂÀ» °ÈÇϰí ÀÖ½À´Ï´Ù. ƯÈ÷ ÃÖÀûÈµÈ Àϰü»ý»ê°øÁ¤ ±¸Ãà°ú Çõ½ÅÀ» ÅëÇÑ °æÀï·Â Çâ»ó¿¡ ¸ðµç ¿ª·®À» ÁýÁßÇÏ¿© ÃÖ°íÀÇ ±â¾÷À¸·Î ³ª¾Æ°¡±â À§ÇÑ ²÷ÀÓ ¾ø´Â ³ë·ÂÀ» Çϰí ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ³ë·ÂÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ¼¼°è¿¡¼´Â À¯ÀÏÇÏ°Ô ±Û·Î¹ú Àåºñ ¾÷üµé¿¡°Ô Á¤Ç°À» °ø±ÞÇÏ¸ç °·ÂÇÑ ÆÄÆ®³Ê½ÊÀ» ±¸ÃàÇÏ¿© ¾÷°è ¼±µÎ ±â¾÷À¸·Î ¹ßµ¸¿òÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù. ÀúÈñ´Â ÁÖÁÖ ÀÌÀÍÀÇ ±Ø´ëÈ, °í°´ ¹× Á¾¾÷¿øÀÇ ¸¸Á·µµ Çâ»óÀ» ÃÖ¿ì¼± ¸ñÇ¥·Î »ï¾Æ Áö¼Ó°æ¿µÀÌ °¡´ÉÇÑ Çϳª¸ÓƼ¸®¾óÁî°¡ µÇµµ·Ï ÃÖ¼±À» ´ÙÇÒ °ÍÀ̸ç, »õ·Î¿î °í¿ëâÃâ°ú Áö¿ª»çȸ ¹ßÀüÀ» À§Çؼµµ ³ë·ÂÀ» ±â¿ï¿© ³ª°¥ °ÍÀÔ´Ï´Ù.
ÀÎÀç»ó
µµÀüÀûÀÎ ÀÎÀç / ÇÁ·ÎÀǽÄÀÌ ÀÖ´Â ÀÎÀç/ âÀÇÀû ÀÎÀç / ±Û·Î¹ú ÀÎÀç / ¼Ö¼±¼ö¹üÇÏ´Â ÀÎÀç
ºñÀü
IT ¼ÒÀçºÎǰ Leading Provider
ä¿ëÇÁ·Î¼¼½º ¾È³»