연혁
2007년 12월 : 신기술실용화촉진대회 대통령 표창수상
2007년 10월 : ISO/IEC 27001 인증 획득
2007년 09월 : 반도체 기술대상 과기부총리상 수상
2007년 08월 : 태양전지 시장 진입 (태양전지용 건식진공펌프 라이볼트베큠에 공급)
2007년 06월 : 태양광 장비 업체 쏠리스 지분 취득
2007년 04월 : 독일 라이볼트베큠社와 OEM 계약
2006년 12월 : 연간 생산 규모 1000대 돌파
2006년 09월 : 특허 출원(복수단의 루츠 및 스크류 로터를 지닌 복합건식 진공펌프)
2006년 08월 : 화성서비스센터 설립 / 수원사무소 이전(경기도 화성시 동탄면)
2006년 06월 : 특허 출원(루츠,스크류 로터 복합건식 진공펌프)
2006년 02월 : 미국법인 설립(Austin, TX 78754, USA)
2005년 12월 : 전문연구요원 병역특례업체 지정
2005년 11월 : 본점소재지 이전(경기도 안성시 신건지동 59-7)
2005년 10월 : 코스닥상장(10.05)
2004년 12월 : DuraDry 1000호기 출하
2004년 07월 : 코미코 가공사업부 및 건물 인수
2004년 04월 : 벤처 capital 자금 유치
2004년 03월 : 충남지방 중소기업청 벤처기업 지정
2004년 01월 : ERP 시스템 구축 완료
2003년 12월 : DuraDry 500호기 생산
2003년 06월 : BS EN ISO9001:2000 인증 획득 11월 수출용 DuraDry 미국 시장 최초 선적
2003년 01월 : 천안공장 DuraDry 1호기 조립 01월 DuraDry 16대 반도체 삼성 300mm Fab에 최초 납품
2002년 12월 : 미국 피츠버그 생산라인 천안공장 이전 완료
2002년 07월 : ㈜엘오티 베큠 창립. 독일 Leybold사로 부터 DuraDry Pump 사업 인수
2002년 03월 : ㈜엘오티 베큠 사업자 등록