1995년 주성엔지니어링 설립 / 반구형 Si 증착 장치 생산 / 미국 수출
1998년 주성연구소 설립“Best Venture Company”수상
1999년 KOSDAQ 상장 / 원자층 증착 장치 생산 / 대만, 일본 수출
2001년 LPCVD HSG 세계일류상품 선정(산업자원부) / HDPCVD, MOCVD 생산
싱가풀 수출
2002년 LCD 5G PE-CVD 생산
2003년 건식 식각 장치, LCD 5.5G~6G용 PE-CVD생산 / 프랑스 수출
2004년 공간 분할 CVD(SDCVD) 생산 / 중국 수출
2005년 벤처기업대상 은탑산업훈장 수상 / LCD 7G용 PE-CVD생산
네덜란드, 독일 수출
2006년 2006 대한민국 10대 신기술상 수상(Semi Batch ALD) / 경사면 식각장치
2007년 1억불 수출의 탑 수상(산업자원부), KDSDAQ 우수법인상(부총리)
태양전지 장치(Thin Film Si), LCD 8G용 PE-CVD 생산
2008년 태양전지 합작법인(인도, 중국) / 인도 수출 / BEST HRD 인증
2009년 한국IR대상 우수상/우수기업군 선정 / 태양전지 장치(C-Si)
“박막 태양전지 제조장비“10대 기술상 선정(지경부)
2010년 세계최초 차세대 Display MOCVD 장치 개발
2011년 대한민국기술대상 "금탑산업훈장" 수상
2012년 세계최초 차세대 반도체 핵심 공정장치 SDP-CVD 개발