1995³â ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µ ¼³¸³ / ¹Ý±¸Çü Si ÁõÂø ÀåÄ¡ »ý»ê / ¹Ì±¹ ¼öÃâ
1998³â ÁÖ¼º¿¬±¸¼Ò ¼³¸³¡°Best Venture Company¡±¼ö»ó
1999³â KOSDAQ »óÀå / ¿øÀÚÃþ ÁõÂø ÀåÄ¡ »ý»ê / ´ë¸¸, ÀϺ» ¼öÃâ
2001³â LPCVD HSG ¼¼°èÀÏ·ù»óǰ ¼±Á¤(»ê¾÷ÀÚ¿øºÎ) / HDPCVD, MOCVD »ý»ê
½Ì°¡Ç® ¼öÃâ
2002³â LCD 5G PE-CVD »ý»ê
2003³â °Ç½Ä ½Ä°¢ ÀåÄ¡, LCD 5.5G~6G¿ë PE-CVD»ý»ê / ÇÁ¶û½º ¼öÃâ
2004³â °ø°£ ºÐÇÒ CVD(SDCVD) »ý»ê / Áß±¹ ¼öÃâ
2005³â º¥Ã³±â¾÷´ë»ó ÀºÅ¾»ê¾÷ÈÆÀå ¼ö»ó / LCD 7G¿ë PE-CVD»ý»ê
³×´ú¶õµå, µ¶ÀÏ ¼öÃâ
2006³â 2006 ´ëÇѹα¹ 10´ë ½Å±â¼ú»ó ¼ö»ó(Semi Batch ALD) / °æ»ç¸é ½Ä°¢ÀåÄ¡
2007³â 1¾ïºÒ ¼öÃâÀÇ Å¾ ¼ö»ó(»ê¾÷ÀÚ¿øºÎ), KDSDAQ ¿ì¼ö¹ýÀλó(ºÎÃѸ®)
žçÀüÁö ÀåÄ¡(Thin Film Si), LCD 8G¿ë PE-CVD »ý»ê
2008³â žçÀüÁö ÇÕÀÛ¹ýÀÎ(Àεµ, Áß±¹) / Àεµ ¼öÃâ / BEST HRD ÀÎÁõ
2009³â Çѱ¹IR´ë»ó ¿ì¼ö»ó/¿ì¼ö±â¾÷±º ¼±Á¤ / žçÀüÁö ÀåÄ¡(C-Si)
¡°¹Ú¸· žçÀüÁö Á¦Á¶Àåºñ¡°10´ë ±â¼ú»ó ¼±Á¤(Áö°æºÎ)
2010³â ¼¼°èÃÖÃÊ Â÷¼¼´ë Display MOCVD ÀåÄ¡ °³¹ß
2011³â ´ëÇѹα¹±â¼ú´ë»ó "±Ýž»ê¾÷ÈÆÀå" ¼ö»ó
2012³â ¼¼°èÃÖÃÊ Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ ÇÙ½É °øÁ¤ÀåÄ¡ SDP-CVD °³¹ß