연혁
2007. 07 중소기업기술혁신개발사업자 선정
2008. 08 기업부설연구소 설립
2009. 05 부품소재기술개발사업자 선정
2010. 01 300mm Oxidation 및 Metal Deposition Foundry Service 개시
2010. 03 경기도 파주시로 사무실 이전 및 공장 등록
2011. 09 Single Ingredient Densitometer 개발
2012. 05 LGD 파주 공장에 농도계 진출
2012. 10 Multi Ingredient Densitometer 개발
2013. 07 LGD CA 농도계 판매 · 진출
2013. 10 농도 측정용 초음파 센서 장치 및 이를 이용한 농도측정시스템 특허 등록(특허 제 10-1322293호)
2013. 12 농도계 상표등록 “엘리사(ELISA)”
2013. 12 현상액 농도측정장치 특허 등록(특허 제10-1395019호)
2013. 12 BOE TM1 공장에 농도계 판매 · 진출
2013. 12 현상액 농도 측정 및 조절장치 특허 등록(특허 제10-1395019호)
2014. 08 CSOT T2 공장에 농도계 판매 · 진출
2014. 08 BOE B2 공장에 농도계 판매 · 진출
2014. 09 LG Innotek 공장에 농도계 판매 · 진출
2015. 07 CSOT T3 공장에 단성분 농도계 판매 · 진출
2015. 07 CSOT T3 공장에 2성분 농도계 판매 · 진출
2015. 08 TIANMA 5.5G 공장에 단성분 농도계 판매 · 진출
2015. 08 TIANMA 5.5G 공장에 2성분 농도계 판매 · 진출
2015. 09 삼성반도체 17라인 ph2 공장에 2성분 농도계 판매 · 진출
2015. 09 삼성반도체 17라인 ph2 공장에 2성분 농도계 판매 · 진출
2015. 10 TIANMA 6G 공장에 단성분 농도계 판매 · 진출
2015.10 CSOT T2 PH2 공장에 단성분 농도계 판매 · 진출
2015.10 TIANMA 6G 공장에 2성분 농도계 판매 · 진출
2015.10 CSOT T2 PH2 공장에 2성분 농도계 판매 · 진출
2015.10 BOE B8 공장에 2성분 농도계 판매 · 진출
2015.10 삼성전자 S3 PH2 공장에 CMP 슬러리 용 농도계 판매 · 진출
2015.11 CSOT T2 공장에 단성분 농도계 판매 · 진출
2015.11 삼성반도체 17라인 ph2 공장에 단성분 농도계 판매 · 진출
2015.11 삼성전자 S3 PH2 공장에 CMP 슬러리 용 농도계 판매 · 진출
2015. 12 LGD GP2 공장에 3성분 농도계 판매 · 진출
2015. 07 BOE B10 공장에 2성분 농도계 판매 · 진출
2015. 09 삼성전자 평택 라인에 CMP용 3성분 농도계 판매 · 진출
2016. 03 ㈜세미로드 신규 사옥 준공
2017. 03 슬러리 용액의 농도 측정 및 조절장치 국내 특허 등록(특허 제 10-1723981호)
2017. 07 슬러리 용액의 농도 측정 및 조절장치 국제 출원 (10-2016-0077327)
