연혁
2000. 01 (주)유진테크 설립(경기도 군포시 당동 39-3 신라테크노빌 602호), 공장 등록
2000. 11 부설연구소 설립
2001. 01 부설연구소 인정(제20011127호)
2002. 05 본사 이전 : 충남 천안시 차암동 4-3
2002. 10 지점 설치(경기도 군포시 당동 39-3 신라테크노빌 602호)
2003. 12 Nitride CVD 장비 수출- Hynix America
2004. 07 기업은행 Family기업 선정
2004. 08 Nitride CVD 장비 수출- Hynix America
2004. 12 300mm Nitride CVD 장비 공동개발 성공리에 완료
2005. 04 300mm Nitride CVD 장비 대만 수출
2005. 05 Outstanding Contribution Award 수상(하이닉스반도체)
2005. 07 코스닥 상장 예비심사 청구
2005. 08 본사 및 공장 이전 : 경기도 용인시 처인구 양지면 추계리 209-3
2005. 10 Nitride CVD 2호장비 대만 수출
2005. 11 코스닥 상장 심사 승인
2006. 01 코스닥 상장
2007. 03 삼성전자에 비메모리용 장비 초도 공급
2007. 12 나노반도체장비 원천기술 상용화 사업 주관기관 선정
2008. 08 Plasma 장비 초도 공급 (하이닉스반도체)
2008. 10 상생협력 집중육성품목 선정(하이닉스반도체)
2009. 02 미국 현지법인 설립
2009. 11 반도체장비 상용화사업 과제 선정(지식경제부)
2009. 12 (주)에콜라이트 주식 및 출자증권 취득
2011. 05 용인공장내 사무동 준공
2011. 08 삼성전자의 글로벌강소기업 육성대상 협력업체 선정
2012. 01 차세대 450mm 반도체 공정 개발용 LP CVD 증착 장비 개발 미국의 SEMATECH의 consortium에서 개발업체로-
2012. 07 미국 SEMICON WEST 2012 참가
2013. 03 삼성전자 '2013 올해의 강소기업' 선정
2013. 07 미국 SEMICON WEST 2013 참가
2013. 09 중국현지법인 설립
2013. 10 SK하이닉스중국법인과 반도체 제조장비 공급계약 체결
2014. 02 SK하이닉스와 반도체 제조장비 공급계약 체결
2014. 03 호법사업장 준공 완료 (토지 41,175㎡, 건축면적 3,574.22㎡)
2014. 06 전자정보디바이스산업원천기술개발사업 (반도체공정장비) 과제선정(12inch 웨이퍼 고생산성 차세대 10nm이하급 소자용 Si, SiGe 및 Ge 선택적 에피 성장 장비 개
2014. 09 삼성전자와 반도체 제조장비 공급계약 체결
2014. 11 전자정보디바이스산업원천기술개발사업 (반도체공정장비) 과제선정(450mm 저압 화학 기상 증착 장비 및 공정개발)주관기관 : 산업통상자원부수행기간 : 2014.10.
2015. 01 양지면 추계리 공장 內창고동 일부 멸실 209㎡ -> 105.94㎡위험물저장 및 처리시설 신축 91.8㎡
2015. 02 OHSAS 안전보건경영시스템 인증
2015. 03 '제49회 납세자의 날' 모범납세자 기획재정부장관 표창 수상
2015. 04 삼성전자와 반도체 제조장비 공급계약 체결
2015. 06 삼성전자 중국(Xian)과 반도체 제조장비 공급계약 체결
2015. 07 삼성전자와 반도체 제조장비 공급계약 체결
2015. 08 SK하이닉스와 반도체 제조장비 공급계약 체결
2015. 11 삼성전자와 반도체 제조장비 공급계약 체결
2016. 03 서울사무소 개소
2016. 05 삼성전자와 반도체 제조장비 공급계약 체결
2016. 07 SK하이닉스와 반도체 제조장비 공급계약 체결
2016. 09 Winbond Electronics Corporation과 반도체 제조장비 공급계약 체결
2016. 10 삼성전자, Samsung Austin Semiconductor와 반도체 제조장비 공급계약 체결
2017. 02 2016년 코스닥시장 공시우수법인 선정
2017. 05 종속회사인 Eugene Technology Inc가 美 Aixtron Inc의 반도체용 장비 중 원자층증착장비(ALD)/화학기상증착장비(CVD) 사업부문 영업양수 계약
2017. 06 SK하이닉스와 반도체 제조장비 공급계약 체결
2017. 08 지식재산 경영인증 (유효기간 2017.08.07~2020.08.07 특허청장)
2017. 09 SK하이닉스와 반도체 제조장비 공급계약 체결
2017. 10 산업통상자원부 '제10회 반도체의 날' 반도체 산업발전 정부포상 - 동탑산업훈장 수상
2017. 11 종속회사인 Eugenus Inc(변경전: Eugene Technology Inc.)가 美 Aixtron Inc의 원자층증착장비(ALD)/화학기상증착장비(CVD) 사업부문 영업양수
2018. 01 SK하이닉스와 반도체 제조장비 공급계약 체결
2018. 03 2018년 경기도 성실납세자 선정
